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SEM 시료제작 법

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GSEM  0 Comments  134 Views  20-04-14 11:08 

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전처리란 무엇인가? 왜 전처리를 해야하는가?

1. 전처리는 SEM에서 올바르고 보다 정확하게 이미지를 얻기 위해서 시료를 정형 ,세척 코팅 등 SEM의 시료대에 올려놓기

   직전까지 수행되는 총체적 과정 입니다.

2. 전처리의 목적은 물론 최상의 이미지 획득에 있습니다.

   최상의 이미지를 획득하기 위해서는 SEM에서는 제약이 따릅니다.

첫째, 시료의 높이와 크기에 제한이 있습니다. 정형화된 시료의 크기는 없지만, SEM 제조사와 고유모델에 따라서

chamber size, 시료대의 size가 다르기 때문에 여기서는 시료대에 올라가는 정도의 크기라고 이해하면 되겠습니다.

둘째, 보고자 하는 면이 표면에 드러나 있어야 합니다. 우리가 보고자 하는 시료가 표면 안 쪽으로 감싸여 있다면 SEM에서는

감싸인 표면만을 보여주기 때문에 반드시 노출되어 있어야 합니다. 일반적으로 SEM에서 이미지를 형성하는 전자는

표면에서 수 nm에서 수 um 영역에서 2차전자 가 발생하게 됩니다. 이렇게 발생되는 2차 전자에 의해 물체의 상이 보여

지게 됩니다. 이와 같은 SEM 이미지의 형성 이론때문에 표면 안쪽에 위치한 시료는 볼 수 없습니다.


셋째, 전자들의 대전(#charging)이 없어야 한다. 비도전성을 갖고 있는 시료는 시료의 안쪽과 표면에 전자들이 모여있게 됩니다.

이와 같은 현상을 대전되었다고 하는데 비도전성 시료들을 현미경으로 관측하게 되면 화면이 점점 환해지고 어두워지는

반복적인 현상이나 고정되어 있는 시료가 마치 물엿이 퍼지는 것처럼 퍼지는 보이게 됩니다.


넷째, 진공에 대한 변형이 없어야 합니다. 전자의 경로를 위해 column과 chamber 모두 진공 상태에 있습니다.

예를 들어 생물과 같은 시료는 당연히 진공에서 변형이 일어나게 됩니다.

              시료의대전현상과 진공에 대한 변형이 일어나고 상의 형질이 변하면 우리가 필요한 정보를 얻지 못하게 됩니다.

앞에서 설명한 것처럼 우리가 SEM을 통해 필요한 정보, 즉 이미지나 크기의 측정을 위해서는 SEM의 제약이 시료에 영향을

덜 미치도록하는 전처리가 필요한 것입니다.


시료제작법에 대한 설명은 첨부의 자료를 참조하여 주시기 바라며,

지에스이엠의 공식블로그 https://blog.naver.com/gsem0501/221651786875

로 방문해주시면 보다 상세한 내용이 수록되어 있습니다.


감사합니다.


지에스이엠 올림.

SEM 시료제작법.pdf (152.9K) 5회 다운로드

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